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zhanghuijing

新虫 (初入文坛)

[求助] 光刻胶 已有1人参与

光刻胶为什么要进行PEB(曝光后烘烤)过程,post exposure bake,可以增加交联密度吗
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昌阳王

铁杆木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
应该是有个后交联的过程,同时有助于使光固化过程中产生的内应力削弱吧
2楼2014-05-28 19:24:16
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