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浮子流量计的读数
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ZhaoSnowice
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专业: 半导体材料
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浮子流量计的读数
假如浮子流量计是在标况下标定的,那么是不是可以认为它的读数就是 sccm?
具体一点,我需要在 100 mbar 时的流量为 100 sccm,上述流量计的读数应该是多少 ml/min?
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1楼
2014-05-22 15:57:10
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ZhaoSnowice
新虫
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虫号: 1915387
注册: 2012-07-29
专业: 半导体材料
应该是100ml/min、316ml/min还是1000ml/min?
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2楼
2014-05-23 22:14:10
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