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紫炎羊儿

银虫 (初入文坛)

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[求助] 刻蚀PI

干法刻蚀PI，用氮化硅做掩膜，先涂胶光刻图形，把图形中的氮化硅刻掉，然后去胶刻PI，想问一下如果不去胶直接用氧等离子体刻蚀PI，胶也会被O2去掉，表面是不是会很脏啊？还有出现了六环花纹是什么原因？

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1楼 2014-05-20 11:28:49

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