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怎么避免CVD合成中的颗粒堵塞气路的问题?
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| 用CVD的管式炉合成纳米材料时,会有一些空间成核堵住抽气气路的接口位置,特别是针阀处,很容易堵住。这是一个很大的潜在危险,搞的我现在都不怎么敢烧线了。 |
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