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悲剧啊,AZO衬底上做PLZT铁电膜,退火后膜有裂纹。。高手指点啊!
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HIT-zsq
铜虫
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悲剧啊,AZO衬底上做PLZT铁电膜,退火后膜有裂纹。。高手指点啊!
学生急着毕业,在石英玻璃上溅射了AZO膜,然后又配了锆钛酸镧铅溶胶,结果发现退火650度后膜裂了。。有类似经历的吗,真的纳闷啊。。求指点啊!
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★
HIT-zsq(金币+2): 谢谢参与
祝福楼主,可以从工艺方面考虑寻找问题的症结。
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21楼
2014-05-19 21:18:28
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