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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 悲剧啊，AZO衬底上做PLZT铁电膜，退火后膜有裂纹。。高手指点啊！
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HIT-zsq

铜虫 (小有名气)

[交流] 悲剧啊，AZO衬底上做PLZT铁电膜，退火后膜有裂纹。。高手指点啊！

学生急着毕业，在石英玻璃上溅射了AZO膜，然后又配了锆钛酸镧铅溶胶，结果发现退火650度后膜裂了。。有类似经历的吗，真的纳闷啊。。求指点啊！
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1楼 2014-05-19 20:41:12
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qiuyuan

木虫之王 (文坛精英)
★
HIT-zsq(金币+2): 谢谢参与
祝福楼主，可以从工艺方面考虑寻找问题的症结。
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21楼2014-05-19 21:18:28
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