24小时热门版块排行榜    

查看: 1426  |  回复: 10
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

shuitong110

银虫 (小有名气)

[求助] 硅材料 或者SOI片表面硅 在氮气环境下高温退货 表面形貌会有所改变吗 已有1人参与

基于SOI的光学器件 由于刻蚀等过程 侧壁粗糙度较大 现在想利用氮气高温退火进行粗糙度的降低 不知道有没有对这个有了解  在氮气环境下高温退火  硅表面形貌会有所改变吗
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

shuitong110

银虫 (小有名气)

引用回帖:
8楼: Originally posted by wj0702114081 at 2014-05-21 08:44:59
这方面我看的也不多,我做的材料跟你的不太一样,我的是晶体材料。
高温处理的话,管式高温炉不行吗?氢退火我不太懂,没看过这方面的东西,氢气高温环境下会不会很危险啊?...

就是因为危险 需要精确的气体配比控制 所以做的才少 太原理工有一台 但是最近出了问题 目前还做不了。。。
9楼2014-05-21 14:35:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 11 个回答

maccaboy

至尊木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
shuitong110: 金币+3 2014-07-08 08:40:45
个人认为:退火一般是处理应力,对外在微观形貌(粗糙度)难有改观。如果认为形貌可以改变,那就是对其进行加工了。
常规方法改变硅片表面的粗糙度,通常是研磨,抛光。
2楼2014-05-19 07:52:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

shuitong110

银虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by maccaboy at 2014-05-19 07:52:26
个人认为:退火一般是处理应力,对外在微观形貌(粗糙度)难有改观。如果认为形貌可以改变,那就是对其进行加工了。
常规方法改变硅片表面的粗糙度,通常是研磨,抛光。

但是我们的结构是微米纳米量级 无法采用机械方法进行研磨抛光。。
3楼2014-05-19 08:32:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

maccaboy

至尊木虫 (著名写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by shuitong110 at 2014-05-19 08:32:46
但是我们的结构是微米纳米量级 无法采用机械方法进行研磨抛光。。...

不明白,光学器件为什么关心侧壁的粗糙度呢?
4楼2014-05-19 15:24:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 应该是93bebmhtak前后十一个字符比较关键 +20 Lanmanbaby 2026-08-09 33/1650 2026-08-12 11:26 by lantianda
[论文投稿] 职称评审,求友友推荐见刊最快的期刊 +4 工厂打螺丝 2026-08-08 4/200 2026-08-12 09:18 by hansi2025
[基金申请] 小木虫上这么多卖论文的,真有人买论文么?感觉没必要啊 +8 Tide man 2026-08-10 9/450 2026-08-11 20:39 by beefly
[基金申请] 帮忙看看fileCode +7 wwncly 2026-08-10 13/650 2026-08-11 19:36 by 冰心玉壶晴
[基金申请] 什么时候出结果,有咨询渠道??? +3 Tide man 2026-08-11 3/150 2026-08-11 17:54 by kudofaye
[基金申请] 静等基金结果 +5 gjjjzhong 2026-08-10 16/800 2026-08-10 17:19 by Tide man
[基金申请] 关于Filecode分析方法 +3 majunge000 2026-08-10 3/150 2026-08-10 15:46 by lch2012
[基金申请] 国自然结果 +4 Vierhys 2026-08-10 8/400 2026-08-10 15:06 by Vierhys
[基金申请] 好奇怪的filecode +4 布布和一二 2026-08-08 5/250 2026-08-10 14:20 by 冰心玉壶晴
[基金申请] 2026国自然放榜时间 +9 布布和一二 2026-08-08 9/450 2026-08-10 11:22 by xxxx2020
[基金申请] 面上项目filecode邪修 +5 西山十月 2026-08-09 7/350 2026-08-10 07:32 by 仁砚薪传
[基金申请] filecode与中标关系的预测 +5 布布和一二 2026-08-07 5/250 2026-08-09 16:15 by 袁向阳007
[基金申请] 关于filecode,很负责任的告诉大家 +6 爱看书的可乐 2026-08-08 7/350 2026-08-08 22:13 by a_niu
[基金申请] 关于豆爷回答的JTJC与%2F数量 +5 yang182083 2026-08-06 7/350 2026-08-08 18:29 by zhanghaozhu
[基金申请] 国基金的申报应该改成非等额制,评价高的钱多评价低的钱少,但是增加资助率 +7 a089 2026-08-07 7/350 2026-08-08 18:05 by gltch
[基金申请] 固定端突然变了,今天 +6 archvillain 2026-08-06 10/500 2026-08-07 16:03 by 医学老男孩
[基金申请] filecode变化情况 +6 布布和一二 2026-08-07 22/1100 2026-08-07 14:45 by 且听虎啸
[基金申请] 大家散了吧,后缀研究没有意义,别浪费时间了,过好目前的每一天,不要焦虑 +5 Tide man 2026-08-06 7/350 2026-08-07 13:11 by 医学老男孩
[基金申请] filecode +14 等待解的谜 2026-08-06 19/950 2026-08-07 12:20 by wlwhappy
[基金申请] 影响面上的因素 +8 布布和一二 2026-08-05 11/550 2026-08-06 10:41 by 宝贝虫子
信息提示
请填处理意见