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shuitong110银虫 (小有名气)
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硅材料 或者SOI片表面硅 在氮气环境下高温退货 表面形貌会有所改变吗 已有1人参与
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| 基于SOI的光学器件 由于刻蚀等过程 侧壁粗糙度较大 现在想利用氮气高温退火进行粗糙度的降低 不知道有没有对这个有了解 在氮气环境下高温退火 硅表面形貌会有所改变吗 |
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shuitong110
银虫 (小有名气)
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5楼2014-05-19 16:47:59
maccaboy
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2楼2014-05-19 07:52:26
shuitong110
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3楼2014-05-19 08:32:46
maccaboy
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4楼2014-05-19 15:24:05
