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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 交流互助 » 椭偏仪与光学薄膜测厚仪（K-MAC)对比
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lixiaolong8_

新虫 (初入文坛)

[交流] 椭偏仪与光学薄膜测厚仪（K-MAC)对比 已有3人参与

如题，关于椭偏仪（SE)与K-MAC的主要差别哪位大神能做下对比？我所知道的是对于厚度较薄的膜层SE测量的精度要比K-MAC好些，另外还有那些？最好能从测试原理的深度进行分析，谢谢。
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随心随性随缘
1楼 2014-05-15 14:17:03
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ying7157

新虫 (小有名气)
★
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测试原理不同：
K-MAC光谱反射仪通过测量在一定波长范围内垂直光反射的强弱 。
椭偏仪是利用光的偏振特性，在光的反射和折射定律的基础上对固体材料的光学结构和性质进行测量、分析和研究，其显著特点是通过测量偏振光与固体材料相互作用后的振幅和相位变化，可得到有关材料光学常数等各种信息，如吸收系数、反射率、复折射率和复介电常数等
有问题，可站内联系！
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4楼2015-05-22 14:52:18
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azuoin

铜虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
椭偏仪更适合测量较薄膜层厚度，精度更高。但是测量过程应该要复杂，测试者需要了解试样
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2楼2014-05-16 11:54:00
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石银东

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
当同一样品用不同的膜厚设备测量时，有不一致的地方以椭偏仪是测量膜厚为基准，美国AST的SE系列性价比高，K-MAC的应用领域局限在LED行业。
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3楼2014-11-28 13:24:56
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