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东环小苦逼

新虫 (初入文坛)

[求助] 在InP衬底上 镀上20nm二氧化硅或者30氮化硅 然后再打80-120纳米孔

做了好几天了   用的PMMA 和zep  然后rie 总是刻不透或者孔洞大  调了dose和rie刻蚀时间  马上毕业了  求助哪里能做啊？或者有谁做过请指导啊！不胜感激。
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1楼 2014-05-13 16:52:05
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