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[求助]
在InP衬底上 镀上20nm二氧化硅或者30氮化硅 然后再打80-120纳米孔
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| 做了好几天了 用的PMMA 和zep 然后rie 总是刻不透或者孔洞大 调了dose和rie刻蚀时间 马上毕业了 求助哪里能做啊？或者有谁做过请指导啊！不胜感激。 |
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