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汕头大学海洋科学接受调剂
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dashan_612

木虫 (正式写手)

[求助] 射频磁控溅射问题

射频磁控溅射仪器中所有的同轴电缆都必须是一样粗细的么?我今天实验完 大约40min,发现进入靶的那条线发热 其它的线没有问题 高手说明一下 怎么回事 如何解决 谢谢

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JackSongNJ

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★ ★
dashan_612(金币+2,VIP+0):....
不需要都那么严格的一致的,只要相同阻抗一般就ok。

你的问题应该是反射太大了,调节以下匹配就好多了。如果反射ok,你可以查查是不是有接头松掉了,接触不良也可能有类似现象。
2楼2008-03-16 11:38:53
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