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TEM薄膜截面样品 离子减薄时中间破洞了但是膜还没有断 已有1人参与
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要看截面,Si片做陪片,薄膜为PVD镀合金或陶瓷膜,硬度约20-40GPa 凹坑至40um左右,减薄4小时出现破洞,但中间的膜还连着,继续减约一个小时才断,但洞已经很大了,膜的薄区不知道怎么样,有一样情况的吗?这样正常吗? IMG_20140508_204028.jpg |
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2楼2014-05-14 00:14:16













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