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TEM薄膜截面样品 离子减薄时中间破洞了但是膜还没有断 已有1人参与
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要看截面，Si片做陪片，薄膜为PVD镀合金或陶瓷膜，硬度约20-40GPa 凹坑至40um左右，减薄4小时出现破洞，但中间的膜还连着，继续减约一个小时才断，但洞已经很大了，膜的薄区不知道怎么样，有一样情况的吗？这样正常吗？  IMG_20140508_204028.jpg |
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2楼2014-05-14 00:14:16
