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木虫 (小有名气)

[求助] 普发活塞泵高真空下2Hz噪音明显,求助!

实验室最近买的一套普发分子泵和活塞泵(XtraDry 150-2)给一个腔抽真空,刚开始声音正常,活塞泵是高频运动发出的噪声,声音也不大。腔内真空优于1*10^-5Pa时,活塞泵就有明显增大的2Hz的噪声,盖过了原来的高频噪声(或者共振了?)。给腔内充点气体噪音就会恢复正常水平。大家帮忙分析分析这是什么原因怎么解决。多谢!
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为什么会有测不准原理?难道上帝的硬件性能让他只能达到这个分辨率?
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