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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 想在衬底上做有图案的电极，光刻以后，怎么把不需要的电极部分腐蚀掉
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solar123

金虫 (小有名气)

[求助] 想在衬底上做有图案的电极，光刻以后，怎么把不需要的电极部分腐蚀掉 已有4人参与

如题，我们想在玻璃衬底上自己做有图案的电极，先是全部图上电极，光刻以后，把不需要的电极部分弄掉，
想问一下，怎么把不需要的电极部分腐蚀掉啊，电极有金，银，ITO等
请高手指点，比如用什么溶液，什么配比等等，谢谢啦！
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1楼 2014-04-28 10:10:13
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西安交通大学

新虫 (初入文坛)
★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
solar123: 金币+4 2014-04-28 15:59:17
本帖内容被屏蔽
4楼2014-04-28 13:58:44
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reninhat

铁杆木虫 (正式写手)
购买对应的金属腐蚀缓冲液
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2楼2014-04-28 10:58:00
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solar123

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by reninhat at 2014-04-28 10:58:00
购买对应的金属腐蚀缓冲液

你们经常在哪里买？好一些，推荐一下，我自己也查查，谢谢啦
赞一下 回复此楼
3楼2014-04-28 11:30:14
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
solar123: 金币+6, ★★★很有帮助 2014-04-28 22:46:50
引用回帖:
3楼: Originally posted by solar123 at 2014-04-28 11:30:14
你们经常在哪里买？好一些，推荐一下，我自己也查查，谢谢啦...

金可以用碘化钾
银用硝酸
ITO用草酸
如果对洁净度要求不高，可以买试剂店里的分析纯。如果要求高，可以找苏州锐材买相应的高级别腐蚀液。
腐蚀液这东西买进口的就是给自己找事儿。
赞一下(2人) 回复此楼
5楼2014-04-28 16:33:37
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