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李天辰木虫 (正式写手)
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VLSI grade 是什么 已有1人参与
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超大规模集成电路级？ All cleaning reagents and HF were of VLSI grade and supplied by Merck. 怎么译？不知道cleaning啥意思。 |
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焦虑
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李天辰
木虫 (正式写手)
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- 专业: 物理化学
送红花一朵 
3楼2014-04-28 10:54:04
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大规模集成电路级别 所有清洗试剂和氢氟酸都是大规模集成电路级别的，由默克公司提供 cleaning是清洗的意思，用各种纯度的酸来清洗及刻蚀集成电路用，所以，VLSI grade只是其中一个级别纯度的而已 超大规模集成电路级是ULSI（Ultra-Large-scale integration） 可以参考： 电子级(semiconductor grade)的酸，如硝酸，硫酸，氢氟酸等，适用于半导体生产过程中所用产品的清洗和蚀刻以及痕量金属元素残留分析。 根据质控的金属元素含量的数量和含量又分为四个级别：MOS级，VLSI级，ULSI级和SLSI级 （1）MOS级（EL级）：优于美国SEME C1标准，控制1μm颗粒，控制十多个金属元素，单项金属元素杂质控制在100PPb左右 （2）VLSI级：介于EL与UL之间，控制0.5μm颗粒，控制三十多个金属元素，单项金属元素杂质控制在10~100PPb （3）ULSI级：等同于美国SEME C7标准，控制0.5、0.3μm颗粒，控制三十多个金属元素，单项金属元素杂质控制在10PPb以下 （4）SLSI级：等同于美国SEME C8标准，控制0.3μm颗粒，控制三十多个金属元素，单项金属元素杂质控制在1PPB以下 另外追加点金币？呵呵 |
» 本帖已获得的红花（最新10朵）
2楼2014-04-27 21:52:12
4楼2014-04-28 11:07:26
