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一个人的灌水

铁虫 (初入文坛)

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[交流] 【请教】：5nm左右的样品如何准确测量？

需要测量5nm左右的样品，请问用什么设备或方法测试？谢谢！

[ Last edited by jackchen145 on 2008-6-2 at 15:52 ]

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1楼 2008-03-07 22:33:34

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gutidog

金虫 (小有名气)

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引用回帖:

Originally posted by ruidou at 2008-3-10 06:17:
要准确测量当然还是TEM好,最好是Tecnai这样的好机器.因为我的样品就是5nm的,用Tecnai可以看到原子排布了,非常清楚.

SEM能看到,但是准确度肯定没有TEM好.我们这最干净的SEM是FIB上的,可是只能模糊的看到5nm的颗 ...

请问你用的Tecnai的TEM制样时使用的微栅还是碳膜？