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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » <<请问哪里可以生长10um SIO2膜?>>
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meryxgf

铁虫 (小有名气)

[交流] <<请问哪里可以生长10um SIO2膜?>>

大家好，直奔主题了哦。
我需要在4寸Si衬底上生长10um的SiO2做光波导器件。 本来PECVD是可以的，但是我们学校的这个设备正好出了问题。。

请问上海什么地方有这样的设备，并且给外单位生长这样的SiO2？费用当然会出的。


哪位知情的人麻烦透露一下，谢谢了。
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1楼 2008-03-07 17:28:26
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GrasaVampiro

专家顾问 (职业作家)

微信XGBerlin

优秀版主
白忙一场,北京我倒是知道,楼主还是把帖子名字改改吧,
请问上海哪里可以生长10um SIO2膜?
省得耽误事
赞一下 回复此楼
从此不问江湖事
2楼2008-03-07 18:51:06
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