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[交流]
<<请问哪里可以生长10um SIO2膜?>>
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大家好，直奔主题了哦。 我需要在4寸Si衬底上生长10um的SiO2做光波导器件。 本来PECVD是可以的，但是我们学校的这个设备正好出了问题。。 请问上海什么地方有这样的设备，并且给外单位生长这样的SiO2？费用当然会出的。 哪位知情的人麻烦透露一下，谢谢了。 |
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2楼2008-03-07 18:51:06