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dashan_612

木虫 (正式写手)

[交流] 前极真空为多少时才打开分子泵

前极真空为多少时才打开分子泵

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nucleus01

至尊木虫 (著名写手)

小木虫北庭节度使

30Pa左右, 尽量高一点再打开
爽是要付出代价的!
2楼2008-03-07 12:03:55
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JackSongNJ

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dashan_612(金币+1,VIP+0):3q
分子泵的开启气压取决于抽速,真空腔容积和密封性能。事实上就是说,分子泵不断的加速阻力迅速增大,但是它同时也更快的抽气,一个安全的开启气压就是能够在分子泵加速过程中不产生过大阻力的气压。

所以看你的腔是多大了,如果你的腔很小,抽速在100升以上的,分子泵可以和前级泵一起开。如果你的腔很大,一般建议在10Pa以下的时候开启。但是也不建议过低气压开启,避免长时间的机械泵抽气污染真空腔。
3楼2008-03-07 13:53:40
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lxtxgn

铁杆木虫 (正式写手)

长时间机械泵抽气为何污染真空腔??
4楼2008-03-08 14:39:41
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