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小酒窝

铜虫 (小有名气)

[交流] 急求:XPS测试薄膜样品

我想测薄膜样品的XPS,有下面几个问题想问一下各位:
(1) 薄膜样品一般需要样品大小有多大?我的样品是长方形(厚度0.5mm),尺寸为0.5cm×1cm。我不想把它裁开,请问一般这么大可测吗?
(2)它应该是一种无损分析吧?是不是测了XPS之后不影响其他测试?
(3)薄膜进行XPS是不是必须进行刻蚀?不刻蚀可以做吗?
先谢谢各位了
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wang70563

银虫 (初入文坛)

你的薄膜是什么成分?

(1)这么大一般来说足够了(除非是特别特别老的XPS谱仪)
(2)完全无损
(3)不需要刻蚀,但是薄膜表面总会附着一些碳contaminant,可能会影响你的测试结果;碳contaminant可以通过离子溅射去除
2楼2008-03-05 03:09:05
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小酒窝

铜虫 (小有名气)

谢谢

我只是听别人说作薄膜样品一般要刻蚀,不然测试效果不太好
我也不清楚
3楼2008-03-05 17:12:46
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hanwh03

木虫 (小有名气)

你说的刻蚀应该是去除表面吸附的原子层吧

我考虑刻掉几个原子层就够了

对薄膜的总体厚度影响应该不是太大吧

除非你的薄膜是20个原子层以下
4楼2008-04-12 09:49:18
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fqy504

木虫 (著名写手)

我前些天也做了薄膜材料的XRd,我的薄膜材料是聚苯并咪唑薄膜,薄膜不用处理,直接就测试了
坚持就是胜利,胜利需要坚持!
5楼2008-04-12 12:04:06
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yhw9102

木虫 (小有名气)

1。你的样品大小足够了
2。基本上是无损的。只要不是X射线敏感的就可以。
如果用Ar离子溅射做深度剖析 就不是无损啦 呵呵
3。一般空气中放进去的样品表面都会有多多少少的C和O吸附,
通常我会先测表面,然后溅射掉表面几个nm后再测一次。如果你的样品
不是厚度只有几nm的薄膜,这么做都是合理的。
6楼2008-04-15 14:31:47
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