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做TPRTPD TPO过程中载气影响大不大
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| 在做TPRTPD TPO的过程中经常用惰性气体进行清洗,或作为载气,文献中有的用Ar,有的用He或N2,不知道载气的影响大不大,请经验人士给点意见。 |
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3楼2014-04-12 21:19:36
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nono200931楼
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