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Angusskanal

木虫 (小有名气)

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[求助] 求问RIE刻graphene的条件

我涂的胶是UVN30或者SU8,请问光刻并显影后，想用RIE把graphene刻成GNR,该用什么气体，什么压强，什么温度，时间？衬底是SiO2/Si。谢谢。

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为科研奋斗终生

1楼 2014-04-12 11:52:54

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