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疯狂大旗

新虫 (初入文坛)

[求助] 请问各位大神用3840原胶镀膜的InAsSb和AlAsSb各用什么腐蚀比较好?

在GaAs衬底上外延生长的NBN结构,要做器件湿法腐蚀掉InAsSb和AlAsSb。用的是3840原胶
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