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China_yang

新虫 (正式写手)

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专业: 半导体微纳机电器件与系统

[求助] ITO玻璃上长非晶硅

最近在ITO玻璃上长a-Si，加工了几次均脱落
参数：
SiH4 40 sccm， He 710 sccm ，RF 40W，Pressure 1500mTorr 温度200℃

不知哪里出了问题，第一次做，没经验，不知原因，请懂得帮我分析一下和注意事项！

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1楼 2014-04-11 23:27:30

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

智能机器人

Robot (super robot)

我们都爱小木虫

找到一些相关的精华帖子，希望有用哦~

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