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China_yang

新虫 (正式写手)

[求助] ITO玻璃上长非晶硅

最近在ITO玻璃上长a-Si,加工了几次均脱落
参数:
SiH4   40 sccm, He  710 sccm  ,RF 40W,Pressure 1500mTorr  温度200℃

不知哪里出了问题,第一次做,没经验,不知原因,请懂得帮我分析一下和注意事项!
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