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exciting73

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

目前这种情况能调的有前烘温度和时间、曝光时间、显影时间。你先调下曝光时间，延长一些，看看结果。
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11楼2014-05-05 23:32:46
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spiderman504

金虫 (小有名气)
引用回帖:
10楼: Originally posted by yswyx at 2014-05-05 18:17:43
没办法说下去了…………
你这个总曝光量是你自己算出来的，并不是真实值……...

我是预设一个曝光量，然后除以曝光强度去设的时间。所以曝光量我是可以通过调整时间得到的。你说的大曝光量下显影肯定会容易点，回去再试试吧。
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由于您的签名过于个性，小木虫暂时无法显示。。。
12楼2014-05-06 23:19:52
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
12楼: Originally posted by spiderman504 at 2014-05-06 23:19:52
我是预设一个曝光量，然后除以曝光强度去设的时间。所以曝光量我是可以通过调整时间得到的。你说的大曝光量下显影肯定会容易点，回去再试试吧。...

你曝光强度怎么来的？你确认那个是真实值？
剂量实验没有做，相当于在瞎碰啊……
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13楼2014-05-07 19:58:11
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spiderman504

金虫 (小有名气)
引用回帖:
13楼: Originally posted by yswyx at 2014-05-07 19:58:11
你曝光强度怎么来的？你确认那个是真实值？
剂量实验没有做，相当于在瞎碰啊……...

比如说我想做曝光量为150mJ/cm2。然后我用测光强的功率计测了曝光强度为15mw/cm2,现在我把时间设定为10s，这样有问题吗？
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由于您的签名过于个性，小木虫暂时无法显示。。。
14楼2014-05-08 09:51:52
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
14楼: Originally posted by spiderman504 at 2014-05-08 09:51:52
比如说我想做曝光量为150mJ/cm2。然后我用测光强的功率计测了曝光强度为15mw/cm2,现在我把时间设定为10s，这样有问题吗？...

光强计的波长范围是多少？
光刻机光源出光包含几个谱线？
光强计的测量误差是多少？
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15楼2014-05-08 16:56:50
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