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1314daydayup

金虫 (小有名气)

[求助] 求助扫描电镜品牌及型号 已有4人参与

最近单位建设超净实验室,打算订购一台扫描电镜,大致看了下有FEI的和德国蔡司的,我们是做硅器件的,要求能够放4–6寸硅圆片以及单个小器件。最重要的是最要不要喷金呀这种破坏性的样品处理过程,电镜本身就能较好的抑制二次电子的荷电效应,价格要在200w以内吧,谢谢您的推荐!

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1314daydayup

金虫 (小有名气)

引用回帖:
7楼: Originally posted by zhenwuhuang at 2014-04-09 18:11:42
推荐FEI和JEOL,首选FEI

大概确定了FEI 450那款,场发射的吧,一步到位了,电镜这玩意以后也不会换了,呵呵,谢谢啦

[ 发自小木虫客户端 ]
9楼2014-04-09 21:16:24
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查看全部 13 个回答

userhung

禁虫 (文学泰斗)

木虫博士

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
看看这个会有帮助的~~~~~~~~~~~~~~~

http://muchong.com/bbs/viewthread.php?tid=2852537
2楼2014-04-07 07:58:39
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
环境扫描电镜吧,推荐FEI的,价格啥样的都有,200w应该也就是入门级场发射,具体可以问问他们公司销售,不过导电性确实很差而且有有机物的话,对电镜分辨率损伤还是蛮大的,还是应该严格限制污染太严重的样品。其次可以看看日立SU8000系列,也有做对landing电压的设计,不过感觉还是FEI的更靠谱
3楼2014-04-07 11:52:28
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272598809

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
作为电镜工程师,考虑设备质量、以及售后维护方面,zeiss还是不错的。
4楼2014-04-09 16:47:47
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