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CVD碳化硅涂层后为什么有一层土黄色的物质?
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| CVD碳化硅涂层后为什么有一层土黄色的物质?请问这是什么物质啊? 还有在沉积的坩埚表面有一层白色物质也不知道是什么。。。求教 |
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