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dengwei_19

木虫 (著名写手)

铁齿金不换诚实可靠小郎君

[交流] [求助]如何使用SEM上的EDS测试分相的化学成分

本人做了一个分相的样品,想测试孤立相和母相的成分区别,按理说使用SEM上的EDS应该是直观简便的,但找到测试老师却说不行.他说有测试深度问题.我很郁闷,我在很多的资料上看到有人使用它来测试分相,希望懂的同学老师帮帮忙

[ Last edited by dengwei_19 on 2008-2-27 at 21:57 ]
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jfren

木虫 (著名写手)

TEM的EDS测试的深度相对较小,约100nm,SEM的EDS测试深度约1um。所以看你的材料,只要不打到基底上就可以。如果薄,可以考虑TEM 的EDS
3楼2008-02-28 09:00:01
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huang150429

金虫 (正式写手)

是存在一个测试深度的问题,这主要取决于你所测试的孤立相的厚度,如果小于1um的话,估计电子束则能够传统孤立相,而打到基体相上,这样测试出来的结果是不可信的,呵呵。。
2楼2008-02-28 08:39:28
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dengwei_19

木虫 (著名写手)

铁齿金不换诚实可靠小郎君

先谢谢上边的两位
样品分相微粒大小约为600nm
到TEM上试试
还想问下EDS测试的大小范围大约是多少啊?

[ Last edited by dengwei_19 on 2008-2-28 at 15:41 ]
4楼2008-02-28 15:39:54
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