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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 新能源材料 » 常温溅射碲化铋怎么变黑了
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张义政

金虫 (初入文坛)

[求助] 常温溅射碲化铋怎么变黑了 已有2人参与

其实溅射的是BST（铋锑碲），常温溅射的，出炉后是黑色粉末，以前也没这样啊，连续两锅，换铜靶没变黑，换BST又变黑
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1楼 2014-04-01 09:58:09
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zvs1988

铁杆木虫 (著名写手)

BOSS

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by 穿越千年 at 2014-04-01 17:00:30
我没做过薄膜，想问几个问题：你以前溅射BST材料不是变黑么？溅射的时候每个元素沉积的速率不一样，薄膜的成分怎么控制？Te的蒸汽压比Sb和Bi高，更容易挥发，Te蒸汽沉积就会呈现出黑色。

我没做过BST如果是氧化造成的可镀保护层 :控制成份只能改靶成份比

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何必看破
4楼2014-04-02 10:59:46
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zvs1988

铁杆木虫 (著名写手)

BOSS

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
穿越千年: 欢迎来本版交流 2014-04-01 16:57:45
你可以试试做保护层啊
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何必看破
2楼2014-04-01 13:28:17
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穿越千年

版主 (著名写手)

寂寞读书的小和尚

优秀版主优秀版主优秀版主优秀版主

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
我没做过薄膜，想问几个问题：你以前溅射BST材料不是变黑么？溅射的时候每个元素沉积的速率不一样，薄膜的成分怎么控制？Te的蒸汽压比Sb和Bi高，更容易挥发，Te蒸汽沉积就会呈现出黑色。
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热电材料，相变材料，阻变材料，APT，EBSD
3楼2014-04-01 17:00:30
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