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张义政

金虫 (初入文坛)

[求助] 常温溅射碲化铋怎么变黑了 已有2人参与

其实溅射的是BST(铋锑碲),常温溅射的,出炉后是黑色粉末,以前也没这样啊,连续两锅,换铜靶没变黑,换BST又变黑
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zvs1988

铁杆木虫 (著名写手)

BOSS

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by 穿越千年 at 2014-04-01 17:00:30
我没做过薄膜,想问几个问题:你以前溅射BST材料不是变黑么?溅射的时候每个元素沉积的速率不一样,薄膜的成分怎么控制?Te的蒸汽压比Sb和Bi高,更容易挥发,Te蒸汽沉积就会呈现出黑色。

我没做过BST如果是氧化造成的可镀保护层 :控制成份只能改靶成份比

[ 发自小木虫客户端 ]
何必看破
4楼2014-04-02 10:59:46
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zvs1988

铁杆木虫 (著名写手)

BOSS

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
穿越千年: 欢迎来本版交流 2014-04-01 16:57:45
你可以试试做保护层啊
何必看破
2楼2014-04-01 13:28:17
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穿越千年

版主 (著名写手)

寂寞读书的小和尚

优秀版主优秀版主优秀版主优秀版主

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
我没做过薄膜,想问几个问题:你以前溅射BST材料不是变黑么?溅射的时候每个元素沉积的速率不一样,薄膜的成分怎么控制?Te的蒸汽压比Sb和Bi高,更容易挥发,Te蒸汽沉积就会呈现出黑色。
热电材料,相变材料,阻变材料,APT,EBSD
3楼2014-04-01 17:00:30
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