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匿名

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yswyx

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【答案】应助回帖

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nejx: 金币+10, 有帮助 2014-06-13 13:25:46
肯定要用ICP刻蚀。
掩模直接用光刻胶,5~10um的深度的话很轻松。
光刻完以后可以用HF漂氧化层,然后再去刻蚀。
如果觉得HF不好,可以先RIE可氧化层,再ICP刻硅。
2楼2014-04-18 18:22:48
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