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Ted

[交流] 请教:溶胶凝胶制备薄膜

在溶胶凝胶法制备薄膜,用旋转甩膜法在玻璃基片上制膜,甩一层膜红外干燥,继续甩膜,当镀第二层后发现有很多斑点,请问是怎么回事?有哪些因素影响,哪位有经验请赐教,谢谢!

[ Last edited by SHY31 on 2008-4-12 at 09:44 ]
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fqf

金虫 (正式写手)


SHY31(金币+1,VIP+0):谢谢热心讨论
很可能是微汽泡受热外出聚集而成,最好在真空下作
3楼2008-03-27 09:26:57
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mnfe

金虫 (小有名气)


SHY31(金币+1,VIP+0):谢谢热心回答
我也常遇到这种情况,我个人认为,颗粒可能来自:滴管、或空气中的粉尘,或基片没洗干净;这些都确信没问题后还有颗粒,可能是胶体中有部分胶粒缩聚成小颗粒了。
2楼2008-03-26 23:30:57
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hanwh03

木虫 (小有名气)

3楼说的有点道理,就是不知怎么到真空室里面甩膜

呵呵

到洁净间做吧
干燥的时候采用常时间低温 免得气体的一处造成表面不平整,影响第二层
4楼2008-04-12 09:32:01
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lchyang

木虫 (小有名气)

Spin方式镀膜,环境非常关键,环境落尘造成斑点的可能性极大
5楼2008-04-15 19:15:43
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