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MacMillam

金虫 (正式写手)

[交流] 关于靶材问题的请教 已有4人参与

粉末靶材和陶瓷靶材有什么区别?


或者说粉末靶和烧结陶瓷靶有什么区别?

小弟是目前做的课题是要用铌酸锂作为靶材来磁控溅射,但是在文献里头出现了这两个名词,还分析了其优劣势。但是不明白他们到底有什么区别。望各位指点迷津。金币不多,还望海涵。
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pvdmaterial

新虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
烧结靶材就是用粉末给烧结做的呀,难道说粉末是热压工艺?烧结工艺差别?
17楼2017-09-07 17:18:44
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
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MacMillam: 金币+10 2014-12-30 08:40:24
粉末靶就是用粉末冶金方法制备的靶材。烧结陶瓷靶就是通过粉末冶金和烧结方式制备的陶瓷材料靶材。陶瓷靶基本上全部是粉末靶,但粉末靶不一定是陶瓷靶,一些金属靶材尤其是难熔金属靶材W、Mo、Nb、Ta等都经常用粉末冶金的方法。
12楼2014-12-29 10:38:39
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钦点木瓜

金虫 (著名写手)

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
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MacMillam: 金币+8, 谢谢谢谢~我明白了~ 2015-03-14 09:04:29
引用回帖:
12楼: Originally posted by peterflyer at 2014-12-29 10:38:39
粉末靶就是用粉末冶金方法制备的靶材。烧结陶瓷靶就是通过粉末冶金和烧结方式制备的陶瓷材料靶材。陶瓷靶基本上全部是粉末靶,但粉末靶不一定是陶瓷靶,一些金属靶材尤其是难熔金属靶材W、Mo、Nb、Ta等都经常用粉末 ...

陶瓷靶材都是要经过烧结的吧,。金属靶材有粉末冶金法做的,也有喷涂做的。
用绳命来搞科研
13楼2015-03-13 11:05:41
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shawn2016

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
13楼: Originally posted by 钦点木瓜 at 2015-03-13 11:05:41
陶瓷靶材都是要经过烧结的吧,。金属靶材有粉末冶金法做的,也有喷涂做的。...

金属靶材可以铸造成型后再加工。
14楼2016-01-26 14:39:11
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