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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » RF—PECVD 沉积掺杂微晶硅薄膜，PH3的流量应该多大
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cx527

新虫 (初入文坛)

[求助] RF—PECVD 沉积掺杂微晶硅薄膜，PH3的流量应该多大

本人菜鸟一枚，请问各位大神们，RF-PECVD给微晶硅薄膜掺杂时，PH3的流量计应该选择多少sccm的？？
   谢谢啦！
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1楼 2014-03-23 21:53:33
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chemlh
2楼2014-03-24 17:44:36
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