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RF—PECVD 沉积掺杂微晶硅薄膜，PH3的流量应该多大
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本人菜鸟一枚，请问各位大神们，RF-PECVD给微晶硅薄膜掺杂时，PH3的流量计应该选择多少sccm的？？ 谢谢啦！ |
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2楼2014-03-24 17:44:36