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chenenlin319

新虫 (小有名气)

[求助] SEM用的JFC-1600溅射仪抽真空不好了

公司的JFC-1600溅射仪抽真空不好了,原来半个小时就能抽到5.0以下,现在要一个多小时。各位大虾有什么招没(除了让厂商来维护外)?用手使劲在上面按,帮助抽快点行不?太用力会不会把下面垫板按变形?
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chenenlin319

新虫 (小有名气)

自己顶一下,哪位大虾指点一下,谢谢!
2楼2014-03-11 09:06:47
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