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月下冰魂

木虫 (正式写手)

[求助] 又没有PIN与MSM结合的光电探测器

想做光学探测器,结果金属与半导体是肖特基接触的(现在来看很难做成欧姆接触的),长上金属其实就是一个MSM的光电探测器了。但是MSM光探测器漏电较高之类的缺点,所以又想在半导体中注入做成PN或者PIN的形式(由于工艺原因,离子注入不能注在金属下,所以金属与半导体仍然是肖特基接触的)。看文献貌似也没看到此类MSM与PN or PIN结合的器件,感觉有点荒谬。刚刚接触光探测器,不太懂。还请赐教。
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