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一种新型的电离式MEMS 气体传感器
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一种新型的电离式MEMS 气体传感器* 摘要:实现了一种新型的电离式MEMS 气体传感器,即线性阻抗电离式MEMS 气体传感器。该传感器创新地采用了电导率而不是常用的击穿电压来检测不同的气体成分,这样可以避免高电压对器件的影响,提高器件工作状态的可重复性和稳定性。该器件在低压条件下不同气体组分中进行气体放电实验,测出了不同的伏安特性曲线和电导率值,从而证实了该器件的气体传感特性。 纳米材料具有大的比表面积、高的表面活性以及与气体相互作用强,对周围环境十分敏感,因此,它可以用来制作各种传感器,如温度、气体、光、湿度等传感器[1] 。电离式MEMS 气体传感器,作为气体传感器的一种,在国内外已经受到了广泛的研究。传统的电离式MEMS 气体传感器具有高敏感性[2] 、低功耗[3] 、高响应速度[4] 、可集成制造[5] 、微小型化[6] 等基本特性。其工作原理是在某种电极结构下进行气体放电击穿实验[7] ,不同的气体会具有不同的击穿电压,凭借这一特性来检测不同种类的气体组分。但是,由于在此实验中会用到高电压,这会使得器件的气敏性结构发生变化,从而影响器件的重复性[8] 。本文提出了一种全新的电离式MEMS 气体传感器,即线性阻抗电离式气体传感器。该传感器与传统的电离式MEMS 气体传感器最大的不同在于其检测不同气体的方法不是基于气体放电的击穿电压,而是基于不同的气体的等效电导率。该器件检测气体利用的是气体放电的低压线性段,避免了高压对器件的影响,从而具有好的重复性。  2.jpg  3.jpg  4.jpg  5.jpg  6.jpg  表1.jpg[ Last edited by yipddicorp on 2014-2-21 at 18:31 ] |
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2014-02-20 10:29:09, 1.47 M
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