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林枫刖金虫 (正式写手)
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[求助]
溶胶颗粒粒径大小与每旋涂周期生长膜厚有无直接关系
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| 基础很差,看到很多文献上都只是指出了颗粒的粒径并没有指出所制得的薄膜膜厚是多少,在旋涂或浸涂设定一样的情况下,粒径会对膜厚造成决定性的影响吗?师兄师姐们,真诚求教。 |
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林枫刖
金虫 (正式写手)
- 应助: 1 (幼儿园)
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- 虫号: 2524385
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- 专业: 半导体电子器件
2楼2014-02-19 16:17:28











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