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Giantslug

金虫 (小有名气)

纳米工匠

引用回帖:
10楼: Originally posted by kwxia at 2014-02-13 05:01:27
见过diamond中nanowire的,那个是直直的,这个尖的是怎么做到的?把etching rate调大?

采用等离子体反应离子刻蚀方法,在各向同性的条件下进行刻蚀的。气体采用氟化物气体。具体较复杂,一时无法描写清楚。若要详细了解,请做我的听众,并关注我的专辑《图解微纳科技与应用》。
展示所有自己研发的纳米制备工艺成果给大家,是本木虫的宗旨。
11楼2014-02-13 08:29:40
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jeremyfrc

木虫 (正式写手)

请问做了多久?
哈哈哈哈,来吧
12楼2014-02-13 13:57:23
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Giantslug

金虫 (小有名气)

纳米工匠

引用回帖:
10楼: Originally posted by kwxia at 2014-02-13 05:01:27
见过diamond中nanowire的,那个是直直的,这个尖的是怎么做到的?把etching rate调大?

是利用RIE中的各向同性特性制备的。
展示所有自己研发的纳米制备工艺成果给大家,是本木虫的宗旨。
13楼2014-02-18 19:49:44
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smicboy

铁虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
11楼: Originally posted by Giantslug at 2014-02-13 08:29:40
采用等离子体反应离子刻蚀方法,在各向同性的条件下进行刻蚀的。气体采用氟化物气体。具体较复杂,一时无法描写清楚。若要详细了解,请做我的听众,并关注我的专辑《图解微纳科技与应用》。...

图解微纳科技与应用,在哪呀

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
14楼2014-04-10 21:06:44
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Apengzong

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
请问哪里有加工厂做这个的吗?
15楼2016-04-15 10:49:07
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