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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术交流 » 纳米制备艺术（10）：中等高硅尖列阵！
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Giantslug

金虫 (小有名气)

纳米工匠
引用回帖:
10楼: Originally posted by kwxia at 2014-02-13 05:01:27
见过diamond中nanowire的，那个是直直的，这个尖的是怎么做到的？把etching rate调大？

采用等离子体反应离子刻蚀方法，在各向同性的条件下进行刻蚀的。气体采用氟化物气体。具体较复杂，一时无法描写清楚。若要详细了解，请做我的听众，并关注我的专辑《图解微纳科技与应用》。
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展示所有自己研发的纳米制备工艺成果给大家，是本木虫的宗旨。
11楼2014-02-13 08:29:40
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jeremyfrc

木虫 (正式写手)
请问做了多久？
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哈哈哈哈，来吧
12楼2014-02-13 13:57:23
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Giantslug

金虫 (小有名气)

纳米工匠
引用回帖:
10楼: Originally posted by kwxia at 2014-02-13 05:01:27
见过diamond中nanowire的，那个是直直的，这个尖的是怎么做到的？把etching rate调大？

是利用RIE中的各向同性特性制备的。
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展示所有自己研发的纳米制备工艺成果给大家，是本木虫的宗旨。
13楼2014-02-18 19:49:44
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smicboy

铁虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
11楼: Originally posted by Giantslug at 2014-02-13 08:29:40
采用等离子体反应离子刻蚀方法，在各向同性的条件下进行刻蚀的。气体采用氟化物气体。具体较复杂，一时无法描写清楚。若要详细了解，请做我的听众，并关注我的专辑《图解微纳科技与应用》。...

图解微纳科技与应用，在哪呀

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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14楼2014-04-10 21:06:44
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Apengzong

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
请问哪里有加工厂做这个的吗？
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15楼2016-04-15 10:49:07
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