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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术交流 » 纳米制备艺术（10）：中等高硅尖列阵！
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Giantslug

金虫 (小有名气)

纳米工匠

[交流] 纳米制备艺术（10）：中等高硅尖列阵！ 已有7人参与

这是我的学生用EBL + RIE做出的中等高硅尖列阵。
纳米制备艺术（10）：中等高硅尖列阵！
中等高度的硅尖列阵。
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展示所有自己研发的纳米制备工艺成果给大家，是本木虫的宗旨。
1楼 2014-02-12 10:06:34
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Giantslug

金虫 (小有名气)

纳米工匠
引用回帖:
10楼: Originally posted by kwxia at 2014-02-13 05:01:27
见过diamond中nanowire的，那个是直直的，这个尖的是怎么做到的？把etching rate调大？

采用等离子体反应离子刻蚀方法，在各向同性的条件下进行刻蚀的。气体采用氟化物气体。具体较复杂，一时无法描写清楚。若要详细了解，请做我的听众，并关注我的专辑《图解微纳科技与应用》。
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11楼2014-02-13 08:29:40
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xuzhixiao

铁杆木虫 (著名写手)

Science, Technology and Art
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
这个有什么应用？
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”五爱青年“：爱科技，爱音乐，爱IT，爱阅读，爱健身
2楼2014-02-12 13:44:08
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Giantslug

金虫 (小有名气)

纳米工匠
引用回帖:
2楼: Originally posted by xuzhixiao at 2014-02-12 13:44:08
这个有什么应用？

可以有许多应用：
1）可以作为标准样品，来检测AFM探针的形貌；
2）由于硅尖曲率半径才几个纳米，硅又是半导体，无需高电压（<100V），就可以实现尖端放电，起到象灯丝一样的放电作用，成为真空场致发射管（Vacuum emission emitter）；
3）周期性硅尖可以作为一个二维纳米光子晶体结构，对于光有特定的相互作用，研发出新型的光学元件；
4）由于硅尖的尺寸远小于神经组织，因此，可以在硅尖内开洞口，进一步把这样的硅尖研发成微型注射器（micro needle），这样，未来对病人进行注射时病人将不会觉得疼痛；
5）Giantslug在2004年同英国剑桥的卡文迪许实验室曾经试图用这样的硅尖列阵，来刺破细胞壁，从而能将药物直接灌进细胞内（drug delivery），但一直没有成功。尽管如此，这是一个非常有趣的想法和尝试。
6）刚才提到的真空场致放电管，其应用之一，就是在空间科技（space science and technology）上。比如，几乎所有太空飞行器（包括卫星），都非常容易出现表面带电不平衡，因此，需要有放电器来中和这些多余的荷电，这样的低压场致放电管就是飞行器中一个部件了。
可以还有许多应用。这里就给大家交流这些了。如果各位也有许多 不同的想法，欢迎交流指导。
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3楼2014-02-12 16:03:19
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haode22

金虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by Giantslug at 2014-02-12 16:03:19
可以有许多应用：
1）可以作为标准样品，来检测AFM探针的形貌；
2）由于硅尖曲率半径才几个纳米，硅又是半导体，无需高电压（<100V），就可以实现尖端放电，起到象灯丝一样的放电作用，成为真空场致发射管（V ...

场发射显示器。
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逐渐成为工作狂，技术狂.............
4楼2014-02-12 16:47:13
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