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Giantslug

金虫 (小有名气)

纳米工匠

[交流] 纳米制备艺术(10):中等高硅尖列阵! 已有7人参与

这是我的学生用EBL + RIE做出的中等高硅尖列阵。
纳米制备艺术(10):中等高硅尖列阵!
中等高度的硅尖列阵。
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展示所有自己研发的纳米制备工艺成果给大家,是本木虫的宗旨。
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Giantslug

金虫 (小有名气)

纳米工匠

引用回帖:
10楼: Originally posted by kwxia at 2014-02-13 05:01:27
见过diamond中nanowire的,那个是直直的,这个尖的是怎么做到的?把etching rate调大?

采用等离子体反应离子刻蚀方法,在各向同性的条件下进行刻蚀的。气体采用氟化物气体。具体较复杂,一时无法描写清楚。若要详细了解,请做我的听众,并关注我的专辑《图解微纳科技与应用》。
展示所有自己研发的纳米制备工艺成果给大家,是本木虫的宗旨。
11楼2014-02-13 08:29:40
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xuzhixiao

铁杆木虫 (著名写手)

Science, Technology and Art


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
这个有什么应用?
”五爱青年“:爱科技,爱音乐,爱IT,爱阅读,爱健身
2楼2014-02-12 13:44:08
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Giantslug

金虫 (小有名气)

纳米工匠

引用回帖:
2楼: Originally posted by xuzhixiao at 2014-02-12 13:44:08
这个有什么应用?

可以有许多应用:
1)可以作为标准样品,来检测AFM探针的形貌;
2)由于硅尖曲率半径才几个纳米,硅又是半导体,无需高电压(<100V),就可以实现尖端放电,起到象灯丝一样的放电作用,成为真空场致发射管(Vacuum emission emitter);
3)周期性硅尖可以作为一个二维纳米光子晶体结构,对于光有特定的相互作用,研发出新型的光学元件;
4)由于硅尖的尺寸远小于神经组织,因此,可以在硅尖内开洞口,进一步把这样的硅尖研发成微型注射器(micro needle),这样,未来对病人进行注射时病人将不会觉得疼痛;
5)Giantslug在2004年同英国剑桥的卡文迪许实验室曾经试图用这样的硅尖列阵,来刺破细胞壁,从而能将药物直接灌进细胞内(drug delivery),但一直没有成功。尽管如此,这是一个非常有趣的想法和尝试。
6)刚才提到的真空场致放电管,其应用之一,就是在空间科技(space science and technology)上。比如,几乎所有太空飞行器(包括卫星),都非常容易出现表面带电不平衡,因此,需要有放电器来中和这些多余的荷电,这样的低压场致放电管就是飞行器中一个部件了。
可以还有许多应用。这里就给大家交流这些了。如果各位也有许多 不同的想法,欢迎交流指导。
展示所有自己研发的纳米制备工艺成果给大家,是本木虫的宗旨。
3楼2014-02-12 16:03:19
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haode22

金虫 (正式写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by Giantslug at 2014-02-12 16:03:19
可以有许多应用:
1)可以作为标准样品,来检测AFM探针的形貌;
2)由于硅尖曲率半径才几个纳米,硅又是半导体,无需高电压(<100V),就可以实现尖端放电,起到象灯丝一样的放电作用,成为真空场致发射管(V ...

场发射显示器。
逐渐成为工作狂,技术狂.............
4楼2014-02-12 16:47:13
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