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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术交流 » 纳米制备艺术（9）：矮硅尖列阵！
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Giantslug

金虫 (小有名气)

纳米工匠

[交流] 纳米制备艺术（9）：矮硅尖列阵！ 已有2人参与

这是我的学生陶佳瑞采用EBL + RIE，在一定的干腐蚀条件下腐蚀出来的。
纳米制备艺术（9）：矮硅尖列阵！
周期性硅尖列阵
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展示所有自己研发的纳米制备工艺成果给大家，是本木虫的宗旨。
1楼 2014-02-12 09:43:40
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Giantslug

金虫 (小有名气)

纳米工匠
引用回帖:
2楼: Originally posted by 幸福少爷 at 2014-02-25 21:15:40
ICP吗？

不是。是用RIE。

[ 发自小木虫客户端 ]
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展示所有自己研发的纳米制备工艺成果给大家，是本木虫的宗旨。
3楼2014-02-25 21:25:35
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smicboy

铁虫 (小有名气)
都可以做出来

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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4楼2014-04-10 21:04:29
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