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微流控芯片模板
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我们想在光刻后的铬板上甩光胶，然后曝光显影。操作步骤与在硅片上相同，可是显影后总感觉洗不干净，如果显影时间太长了结构又会脱落，我猜是不是由于我做的铬板太大了（5寸）光胶太多不好洗。求指教啊！ [ 发自手机版 http://muchong.com/3g ] |
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