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光刻胶版手动显影厚出现整面性小颗粒
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用的是一款正性光刻胶，用2.38%TMAH显影液显影之后，经过纯水漂洗步骤，然后冲洗之后，氮气吹干后发现整面性小颗粒啊，可能有哪些原因会影响？大侠现身啊！ 同样胶版自动显影表观没有问题， 手动与自动区别： 1.显影液温度手动显影较自动显影低2℃左右； 2.手动显影是吹干，自动显影是旋干； 3.手动显影漂洗步骤水温也相对偏低2度. |
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