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[求助] 如何将氧化铝膜浮贴至矽基板上? 已有2人参与

如何将氧化铝膜浮贴至矽基板上?
(因为很薄，超难完全平整浮贴)
之后
要用来E-beam 蒸镀金属形成奈米粒子可行吗?

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1楼 2014-02-05 13:23:52

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peterflyer

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peterflyer

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【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1

将氧化铝膜浮贴至矽基板上的难点在于氧化铝膜本身并不平整。其次，两者的热胀系数不同，在蒸镀过程中由于基板温度的升高也会产生温度应力。要用来E-beam 蒸镀金属形成奈米粒子必须解决这些问题。

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2楼2014-02-05 21:32:52

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北科學生

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引用回帖:

2楼: Originally posted by peterflyer at 2014-02-05 21:32:52
将氧化铝膜浮贴至矽基板上的难点在于氧化铝膜本身并不平整。其次，两者的热胀系数不同，在蒸镀过程中由于基板温度的升高也会产生温度应力。要用来E-beam 蒸镀金属形成奈米粒子必须解决这些问题。

對於热胀系数的不同，我也想過這樣問題，但是只要蒸鍍熔點低的金屬外加不需要鍍太厚因該就可以讓腔體溫度只上升一至兩度因該影響不大，最讓我困擾的事，如何貼平至矽基板表面?