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xunluobing

铜虫 (小有名气)

[交流] EDS的结果

小弟最近做了一个EDS能谱测试,有一个问题想向大家讨教。问题是这样的,在做EDS能谱测试的时候,测定的O元素含量,其结果是否可信?还有,假如结果中所测得某一元素含量很低,少于1wt%,那么其结果是否可信?希望做过该方面工作的朋友指教,谢谢!
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temedx

专家顾问 (著名写手)

如果是SEM测试,经过标样校准,而且样品表面平整,C,O的定量可以比较准确,那怕是你说的1%含量(最低可以测到0.5%甚至更低一点)。
但平时测试时,不太可能去专门找一个和自身组成一致的标样,所以一般都是用仪器本身带的标样数据,这样就只能做到半定量,尤其是轻元素。
Everybodyissobusymindingotherppl'sbusiness,thattheyforgettofindtheirownhappiness.
5楼2008-01-16 09:03:51
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glassic

禁虫 (正式写手)

本帖内容被屏蔽

2楼2008-01-16 00:12:54
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icefireLim

至尊木虫 (正式写手)

EDAX里有误差分析,你可以看一下
元素含量一般低于0.5wt% 测不出来
1wt%有跟没有,没什么大区别,不可信的
建议你去做EA或是XPS
早起的鸟儿有虫吃,早起的虫儿被鸟吃,So...睡觉,睡觉
3楼2008-01-16 00:24:01
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bj2008991

EDS定性可以,定量的话就不准了!
4楼2008-01-16 08:51:27
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