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不同基片测得的台阶参数能否换算?
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要在STO基片上长BST薄膜,先测台阶以确定沉积速率。 由于STO基片不够了,年前又懒得买了,就用铝酸镧基片做的台阶。 由于铝酸镧晶格是赝立方结构,和钛酸锶的立方结构不同, 请问在铝酸镧基片上测的台阶参数可否通过某种换算得出在钛酸锶基片上的台阶参数呢? 两个基片都是(001)。 急等告知。。。等着回家过年啊。。。 ![]() ![]() |
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