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wzhg2008

木虫 (小有名气)

[交流] 制备TEM截面样的问题

我想做一个陶瓷试样截面的TEM。由于刚开始接触,有个问题不明白,就是为什么要把切好的两个小试样对粘在一起,而不是直接切出所要的试样尺寸?谢谢各位帮忙解释一下。
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taony

木虫 (正式写手)

我刚刚做过截面的TEM样品,我觉得之所以将两个样粘到一起主要有一下原因:
1、将来离子减薄时的薄区面积大;2、为了能时使要观察区处于铜环的中心位置;3、两块样品可以相互支撑,避免样品磨到很薄时样品破裂。
2楼2008-01-11 17:47:58
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wzhg2008

木虫 (小有名气)

感谢taony,你也是将两块样品粘在一起吗?那么直接切出的样品经过减薄后可以进行TEM吗?
3楼2008-01-11 20:35:19
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taony

木虫 (正式写手)

没有那么简单,做TEM样品是非常复杂的过程并且成功率较低,过程是先将切好的样品用一种离子减薄专用树脂(一般用610或者是G1)胶,然后机械在砂纸上机械打磨到30微米一下才可以离子减薄,离子减薄入射离子角度也得不断调整,这样才能得到较大的薄区。现在有很多关于制样的文献,你可以看一下。直接切出的样品应该也可以,如果是薄膜的截面TEM最好是用这种方法。

[ Last edited by taony on 2008-1-13 at 10:22 ]
4楼2008-01-13 10:20:22
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wzhg2008

木虫 (小有名气)

,非常感谢!
5楼2008-01-14 08:42:26
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