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cainv

铜虫 (初入文坛)

[求助] EDS校准的具体过程,求帮助 已有1人参与

小虫最近负责公司的SEM&EDS,设备需要校准,主要是EDS的校准,目前有的标准元素是Mn Al  Cu  C  Ni,只知道从这些元素可以得到设备的一些参数,例如分辨率之类的,怎样用这些元素或者其他元素来调试校准设备还不清楚,希望懂这方面知识的虫友提供帮助。
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yong0119

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
我们用的是蔡斯的sem,EDX校准是软件自动操作。
如果手动的话,先找纯铝样品,打edx看看这个纯铝的峰和软件中的标准峰是否有偏差,有的话,按软件说明来校准。通常买设备提供的操作手册上会有详细步骤。
欢迎失效分析案例咨询
2楼2014-01-15 17:28:16
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