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dashan_612木虫 (正式写手)
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10币求助射频磁控溅射仪器（沈科仪）的使用方法、注意事项、安全提示等
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10币求助射频磁控溅射仪器（沈科仪）的使用方法、注意事项、安全提示等 要电子版的 谢谢 |
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2楼2008-01-12 20:36:22
granular
木虫 (著名写手)
- 应助: 5 (幼儿园)
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- 注册: 2007-11-01
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
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1. 抽真空 (1) 读出背底气压； (2) 开机械泵、打开角阀(抽前级真空室) 当真空度低于X Pa时，关闭角阀，打开分子泵截止阀。 (3) 启动分子泵 打开分子泵电源，待显示屏上有“400.0”字样闪烁时，按“启动”按钮。 (4) 抽高真空 待分子泵转速达到400.0 后，打开“高阀”。 3．溅射 待真空度达到溅射要求时，准备溅射！ (1)充气 打开质量流量计电源，预热5分钟；打开气瓶；将高阀关小点 (经验值为向里旋7.5 转)， 将流量计开到X sscm，可使得Ar气压稳定在X Pa(； (2) 打开溅射电源; (3) 调节变压器，控制电流和电压； (4) 溅射完毕后，将变压器调到零位，关闭溅射电源； (5) 关闭气路。 4．关机 待真空室冷却后，准备关机！ (1) 关闭高阀； (2) 分子泵降转，即按下分子泵控制面板上的“关闭”按钮； (3) 待分子泵转速为零时，关闭分子泵“截止阀”和“机械泵”。 (4) 关水、电。 |
3楼2008-01-12 21:42:54
dashan_612
木虫 (正式写手)
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- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
4楼2008-01-13 09:14:14
