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dashan_612

木虫 (正式写手)

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[交流] 10币求助射频磁控溅射仪器（沈科仪）的使用方法、注意事项、安全提示等

10币求助射频磁控溅射仪器（沈科仪）的使用方法、注意事项、安全提示等
要电子版的谢谢

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1楼 2008-01-11 12:14:02

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truddy

金虫 (初入文坛)

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以前用过这个设备的，自己写了个操作流程，可惜现在不在了。我记得有厂家技术人员过来培训的，你可以问他们。

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2楼2008-01-12 20:36:22

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granular

木虫 (著名写手)

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1. 抽真空

(1) 读出背底气压；
(2) 开机械泵、打开角阀(抽前级真空室)
当真空度低于X Pa时，关闭角阀，打开分子泵截止阀。
(3) 启动分子泵
   打开分子泵电源，待显示屏上有“400.0”字样闪烁时，按“启动”按钮。
(4) 抽高真空
   待分子泵转速达到400.0 后，打开“高阀”。
3．溅射
待真空度达到溅射要求时，准备溅射！
(1)充气
打开质量流量计电源，预热5分钟；打开气瓶；将高阀关小点 (经验值为向里旋7.5 转)，将流量计开到X sscm，可使得Ar气压稳定在X Pa(；
  (2) 打开溅射电源;
  (3) 调节变压器，控制电流和电压；
  (4) 溅射完毕后，将变压器调到零位，关闭溅射电源；
  (5) 关闭气路。
4．关机
待真空室冷却后，准备关机！
(1) 关闭高阀；
(2) 分子泵降转，即按下分子泵控制面板上的“关闭”按钮；
(3) 待分子泵转速为零时，关闭分子泵“截止阀”和“机械泵”。
(4) 关水、电。

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3楼2008-01-12 21:42:54

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dashan_612

木虫 (正式写手)

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4楼2008-01-13 09:14:14

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