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[求助]
求电子束多次套刻、溅射、干法刻蚀等工艺方面的资料！
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| 最近设计了一个纳米光栅，然后想进一步做实验，在该结构的制作方面初步推测可能会涉及到电子束多次套刻、溅射、干法刻蚀等相关工艺，有木有人有相关的资料可以共享一下的，万分感激！ |
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