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ttkttk1234

银虫 (小有名气)

[交流] SEM测量范围内出现黑斑,怎么回事? 已有11人参与

我的样品是溶胶凝胶制备的VO2薄膜,用SEM测量时,测量的区域一会儿(小于1分钟)就会发黑,影响测量,如图。请问,谁碰到过并了解这是怎么回事。大家交流下。
SEM测量范围内出现黑斑,怎么回事?
2-3.jpg
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
你样品有污染,或者不导电,高温分解,建议把样品洗干净,去掉所有可能的污染,表面活性剂等等,用导电性基底,另外喷金,加速电压已经不高了,不建议调,WD建议调高一点,你样品污染这么厉害的话长期这么近的用容易污染极靴,日电的场发射5kV,WD10mm左右至少能上到100k的,不会有分辨率问题
11楼2014-01-12 16:31:55
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chayfei

金虫 (正式写手)

★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
费姚永芬: 金币+2, 谢谢交流,欢迎常来分析版 2014-01-09 09:04:26
样品的导电性不好 在聚焦的时候局部电压过高 样品温度过高而变黑的!
你想得到越多,你就要付出越多。
2楼2014-01-09 08:41:02
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lifucheng

专家顾问 (知名作家)

★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
费姚永芬: 金币+1, 谢谢 2014-01-09 09:04:16
同意二楼的看法 楼主能否把您的东西长在硅片或者ITO上 可能会好点
3楼2014-01-09 08:52:28
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chenleihubei

金虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
可在样品上镀一层金膜,提高导电性
学生
4楼2014-01-09 10:36:27
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