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hard PDMS 用什么可以溶解掉？
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我在带几百纳米图案的硅片上spin了一层PDMS膜（底层是hardPDMS，上面再spin普通PMDMS，总厚度约110um）， 但撕膜的时候膜在有图案的地方裂了，PDMS现在卡在图案里（hard PDMS太脆了）。 急求有什么溶剂可以溶解掉卡在这么小尺寸里的PDMS同时又不损坏图案？！！！ |
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2楼2014-01-09 11:53:04