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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 高分子 » 高分子化学 » hard PDMS 用什么可以溶解掉？
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iyearn

铜虫 (小有名气)

[求助] hard PDMS 用什么可以溶解掉？

我在带几百纳米图案的硅片上spin了一层PDMS膜（底层是hardPDMS，上面再spin普通PMDMS，总厚度约110um）， 但撕膜的时候膜在有图案的地方裂了，PDMS现在卡在图案里（hard PDMS太脆了）。
急求有什么溶剂可以溶解掉卡在这么小尺寸里的PDMS同时又不损坏图案？！！！
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我爱科研
1楼 2014-01-07 14:51:35
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iyearn

铜虫 (小有名气)
要不可以膨胀，不然会损坏纳米图形。
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我爱科研
2楼2014-01-09 11:53:04
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