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ledlau

木虫 (著名写手)

[交流] 样品表面清洗与干燥 已有11人参与

平时实验的时候都是用的划片机切割成的15×15,或者10×10的小硅片
在表面进行一些列微工艺之后
用去离子水清洗
然后为了使样品干燥,采用N2吹干

但是实际上,特别是秋冬季节,感觉表面还是很湿润
而且当硅片表面有Cu层,为了防止氧化,不能放入干燥箱烘干

请问下 大家平时是怎么处理这种情况的啊
如样品要去拍SEM,样品有表面有水分的话,拍摄效果很不好
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fyl1989

金虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
16楼: Originally posted by ledlau at 2013-12-29 21:23:51
额 你测试过吗? ...

我们之前测试的是在加衬底温度(300℃)时在通有氧气的情况下在Al电极上生长氧化锌,预溅射的时间是15min(此时加了温度的衬底是完全暴露在氧气氛围下的),然后生长前后测试相同距离的Al的电阻率,结果用万用表显示是没有差别(当然,如果只是nm级别的氧化层,万用表的针扎上去就能扎穿了)。或者你可以这样,你在最后捞起样品时再把它放入酒精或IPA浸泡半分钟,再捞起,用氮气吹干,再保存(同时也往离心管里吹一吹氮气),这样就把你那烘烤的步骤解决了,我们平时都是这样的,最后从水里捞起不容易完全吹干。
21楼2014-01-01 09:31:30
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huyudong1991

金虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
有真空腔的话可以在真空腔里放一放

[ 发自小木虫客户端 ]
2楼2013-12-27 00:36:46
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
用干燥过的氮气吹干后放入干燥箱中保存。使用时取出,用完后再次吹干放入保存。
3楼2013-12-27 08:02:50
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眼镜片1

银虫 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
最简单的办法  先在样品表面喷上酒精 然后用氮气吹干  这样会把水分除得非常干净
4楼2013-12-27 13:03:44
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